发明名称 GATE VALVE
摘要 <p>본 발명은 실린더 로드의 상하 구동시에 하우징 내부의 기밀을 유지하면서 하우징 내부로 구리스가 이동되지 않도록 밀봉하는 로드 밀봉부를 구비하는 게이트 밸브에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 게이트 밸브는, 챔버 측벽에 형성되어 있는 게이트와 대응되도록 챔버 측벽에 고정되어 설치되며, 상기 게이트 방향으로 개구된 실링 홀과 하측 방향으로 개구된 하부홀을 가지는 하우징; 상기 하우징 내부에 설치되며, 실링 플레이트가 상기 게이트 방향으로 전후진하여 상기 게이트를 실링하는 모듈 블럭; 상기 하우징의 하측에 설치되며, 상기 모듈 블럭과 결합하여 상기 모듈 블럭을 승강시키는 승강 실린더; 상기 하우징의 하부에 결합되어 상기 하부홀을 폐쇄하며, 상기 승강 실린더의 실린더 로드가 관통하는 관통홀을 가지는 하부 플레이트; 상기 하부 플레이트의 상기 관통홀에 설치되며, 상기 실린더 로드를 승강가능하게 밀봉하는 로드 밀봉부;를 포함한다.</p>
申请公布号 KR101216604(B1) 申请公布日期 2012.12.31
申请号 KR20100047549 申请日期 2010.05.20
申请人 发明人
分类号 F16K3/18;F16K51/02;H01L21/02 主分类号 F16K3/18
代理机构 代理人
主权项
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