| 摘要 |
<p>본 발명은 감압건조장치에 관한 것으로 감압 건조 장치 (23b)는 LCD 기판 (G)가 반입되는 반입구 (61) 및 LCD 기판 (G)가 반출되는 반출구 (62)를 측벽부에 가져 반입구 (61)으로부터 반입된 LCD 기판 (G)를 대략 수평 상태로 수용하는 챔버 (6)과 반입구 (61) 및 반출구 (62)를 개폐하는 게이트 부재 ((63, 64))와 게이트 부재 ((63, 64))에 의해 반입구 (61) 및 반출구 (62)가 폐색된 상태로 챔버 (6)내를 감압하는 감압 기구와 LCD 기판 (G)를 대략 수평으로 반송해 반입구 (61)으로부터 챔버 (6)내에 반입함과 동시에 감압 기구에 의한 감압 건조 처리 후에 대략 수평으로 반송해 반출구 (62)로부터 챔버 (6)외에 반출하는 반송 기구 (7)과 챔버 (6)내에서 LCD 기판 (G)를 국부적으로 지지하는 경우 없이 균등하게 지지 가능한 벨트 (71)을 구비한다. 기판이 대형이라도 안전성이 뛰어나는 것과 동시에 진동의 발생을 억제할 수 있고 또한 기판에 도포된 도포액에 생기는 전사를 확실히 방지하는 것이 가능한 감압 건조 장치를 제공하는 기술을 제공한다.</p> |
