| 摘要 |
<p>본 발명의 과제는, 대형 기판 상에 막 두께가 균일하고 불순물이 적은 박막을 고속으로 성막시켜, 장시간 연속 운전 가능한 진공 증착 장치 및 성막 장치를 제공하는 것이다. 유기 EL층이 형성되는 기판(1)이 증착실(5) 내에 수직으로 설치되고, 기판(1) 상에는 유기 EL층을 선택적으로 증착하기 위한 파인 메탈 마스크(4)가 배치되어 있다. 유기 EL층의 재료가 되는 증발원(8)이 증착실 외부에 배치되어 있다. 노즐이 선 형상으로 배치된 증발 헤드(3)와 증발원(8)은 유연한 배관(7)에 의해 접속되어 있다. 증발 헤드(3)를, 노즐의 배치 방향과 직각 방향으로 이동시킴으로써 기판(1)에 유기 EL층을 증착한다. 증발 헤드(3)와 증발원(8)을 유연한 배관(7)에 의해 접속함으로써, 증발 헤드(3)만을 이동시키는 것이 가능해져, 장치의 기구를 간략화할 수 있고, 또한 가동 기구로부터 발생하는 불순물에 의한 유기 EL층의 오염을 방지할 수 있다.</p> |
