Oberflächenerfassungseinrichtung und Verfahren zur Oberflächenerfassung

摘要

Oberflächenerfassungseinrichtung nach dem Triangulationsprinzip zur 3D-Datengewinnung, mit Bestrahlungseinrichtungen zum Bestrahlen zumindest eines Teils der zu erfassenden Objektoberfläche und Beobachtungseinrichtungen zum Abbilden wenigstens eines Ausschnittes des bestrahlten Teils der zu erfassenden Objektoberfläche auf Sensoreinrichtungen zum Detektieren, wobei für den Detektionswinkel Θ' zwischen der Hauptachse der Beobachtungseinrichtungen und einer Bildebene auf den Sensoreinrichtungen gilt