| 摘要 |
Es wird eine drehende Sputterkathode (10) mit einem rohrartigen Element (11), das eine Länge in einer Längsrichtung hat und eine Außenoberfläche (18) definiert, einem ersten Längshalter (20a), der sich in der Längsrichtung entlang der Länge des rohrartigen Elementes (11) erstreckt, und einem zweiten Längshalter (20b), der sich in der Längsrichtung entlang der Länge des rohrartigen Elementes (11) erstreckt, bereitgestellt. Zusätzliche Längshalter (20) (z. B. ein dritter (20c), vierter (20d), fünfter (20e) usw.) können ebenfalls entlang der Länge des rohrartigen Elementes (11) enthalten sein. Ein Target (12), welches ein Sputtermaterial aufweist, kann so positioniert sein, dass dessen Rückseite (16) der Außenoberfläche (18) des rohrartigen Elementes (11) zugewandt ist. Der erste Längshalter (20a) und der zweite Längshalter (20b) halten das erste Target (12) herausnehmbar dazwischen so, dass die erste Rückseitenoberfläche (16) des ersten Targets (12) der Außenoberfläche (18) des rohrartigen Elementes (11) zugewandt ist. Verfahren zum Sputtern eines nicht-verbundenen Targets 12 werden ebenfalls bereitgestellt.
|
