| 发明名称 | 未结合的旋转半导体靶材和它们的溅射方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及未结合的旋转半导体靶材和它们的溅射方法。提供了一种旋转溅射阴极(10)，其包括沿纵向方向具有长度并限定外表面(18)的管状部件(11)、沿管状部件的长度在纵向方向上延伸的第一纵向托架(20a)以及沿管状部件的长度在纵向方向上延伸的第二纵向托架(20b)。还可沿管状部件的长度包括额外的纵向托架(例如第三(20c)、第四(20d)、第五(20e)等)。包括溅射材料的靶材(12)可定位成使得其背面(16)面向管状部件的外表面。第一纵向托架和第二纵向托架将第一靶材(12)可移除地保持在它们之间，使得第一靶材的第一背面(16)面向管状部件的外表面。还提供了用于溅射未结合靶材(12)的方法。 | ||
| 申请公布号 | CN102842478A | 申请公布日期 | 2012.12.26 |
| 申请号 | CN201210209848.6 | 申请日期 | 2012.06.25 |
| 申请人 | 初星太阳能公司 | 发明人 | R.W.布莱克 |
| 分类号 | H01J37/32(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I | 主分类号 | H01J37/32(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 严志军;谭祐祥 |
| 主权项 | 一种旋转溅射阴极(10)，包括： 管状部件(11)，沿纵向方向具有长度并限定外表面(18)； 第一纵向托架(20a)，沿着所述管状部件(11)的长度在所述纵向方向上延伸； 第二纵向托架(20b)，沿着所述管状部件(11)的长度在所述纵向方向上延伸；以及， 第一靶材(12)，包括第一溅射材料并限定第一溅射表面(14)和第一背面(16)，其中，所述第一背面(16)与所述第一溅射表面(14)相反并定位成面向所述管状部件(11)的外表面(18)，并且其中，所述第一纵向托架(20a)和所述第二纵向托架(20b)将所述第一靶材(12)可移除地保持在它们之间，使得所述第一靶材(12)的第一背面(16)面向所述管状部件(11)的外表面(18)且未结合至其。 | ||
| 地址 | 美国科罗拉多州 | ||