发明名称 |
显微镜 |
摘要 |
本实用新型公开了一种显微镜,用于晶圆的检测,包括工作平台及设于所述工作平台上的卡槽、感应器和驱动马达,所述卡槽用于收容晶片盒,所述显微镜还包括设于所述工作平台上的固定锁,所述固定锁在气动作用下可从第一位置运动至第二位置,并在第二位置时限制所述晶片盒移动。本实用新型通过设置固定锁来限制晶片盒在工作过程中的移动,可以避免损坏晶圆及出现安全隐患。 |
申请公布号 |
CN202630990U |
申请公布日期 |
2012.12.26 |
申请号 |
CN201220256032.4 |
申请日期 |
2012.05.31 |
申请人 |
无锡华润上华科技有限公司 |
发明人 |
陆琦 |
分类号 |
G01D11/16(2006.01)I |
主分类号 |
G01D11/16(2006.01)I |
代理机构 |
北京集佳知识产权代理有限公司 11227 |
代理人 |
常亮 |
主权项 |
一种显微镜,用于晶圆的检测,包括工作平台及设于所述工作平台上的卡槽、感应器和驱动马达,所述卡槽用于收容晶片盒,其特征在于:所述显微镜还包括设于所述工作平台上的固定锁,所述固定锁在气动作用下可从第一位置运动至第二位置,并在第二位置时限制所述晶片盒移动。 |
地址 |
214028 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新洲路8号 |