一种偏振二次靶能量色散型X射线荧光光谱仪

摘要

本发明公开了一种偏振二次靶能量色散型X射线荧光光谱仪，光谱仪将二次靶和样品两个平面布置在空间立体光路上，光谱仪的X光管射出原级X射线，所述的原级X射线以45°角入射到二次靶上，从二次靶上以45°出射的原级X射线的散射线是偏振方向垂直于入射平面的全偏振X射线，原级X射线在二次靶上激发的靶材特征X射线为各向同性的圆偏振线，且为分立谱线；提高峰背比，降低微量元素检测的检出限，并可以检测出样品中的低含量元素，提高了测试的准确性和效率。

主权项

一种偏振二次靶能量色散型X射线荧光光谱仪，所述的光谱仪将二次靶和样品两个平面布置在空间立体光路上，光谱仪的X光管射出原级X射线，所述的原级X射线以45°角入射到二次靶上，从二次靶上以45°出射的原级X射线的散射线是偏振方向垂直于入射平面的全偏振X射线，所述的原级X射线在二次靶上激发的靶材特征X射线为各向同性的圆偏振线，且为分立谱线；‑‑‑所述的二次靶的散射线按空间立体光路，以45°角入射到样品上，入射线中的散射部分偏振方向平行于此次的入射平面，经过样品平面的再次偏振出射时，在45°全偏振的原级X射线的散射线不会在样品上产生45°角出射的散射线，即偏振消光；原级X射线在二次靶上激发的靶材特征X射线为各向同性的圆偏振线，且为分立谱线；入射线中的靶材特征谱被样品散射后是全偏振，样品被激发的特征X射线为圆偏振的线光谱；‑‑‑所述的样品被激发的特征X射线由探测器接收并分析，所述的探测器在45°角只接收到样品中的元素被激发的特征X射线及二次靶特征X射线的散射线。