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一种微机电感应电容电压的转换装置，用以将一微机电组件的一微机电感应电容电压转换成一数字信号，其特征在于，所述转换装置包括一第一级积分器、一比较器以及至少一第二级积分器，其中，所述第一级积分器产生一输出信号，所述第二级积分器接收所述第一级积分器的所述输出信号并产生一输出信号，所述比较器接收所述第二级积分器的所述输出信号并产生数字信号；其中，所述第二级积分器包括一第一积分电容以及一第一积分放大器，所述第一积分电容的一端以及所述第一积分放大器的一反相输入端连接到所述第二级积分器的输入信号，所述第一积分放大器的一非反相输入端为接地，所述第一积分电容的一另一端以及所述第一积分放大器的一输出端连接到所述第二级积分器的所述输出信号；所述第一级积分器包括一输入模块、一充放电电容、一第三级积分器、一参考电路、一控制器、一第一切换开关、一第二切换开关、一第三切换开关、一第四切换开关以及一第五切换开关，所述输入模块包括所述微机电组件的一等效微机电电容，所述等效微机电电容的一端连接到一第一节点，所述等效微机电电容的一另一端连接到一第二节点，所述参考电路产生一第一参考电压、一低参考电压以及一高参考电压，所述控制器产生一第一开关信号以及一第二开关信号，所述第一开关信号的高位准与所述第二开关信号的高位准不重迭，所述第一开关信号控制所述第一切换开关、所述第二切换开关以及所述第四切换开关，所述第二开关信号控制所述第三切换开关以及所述第五切换开关，所述第三级积分器包括一第二积分电容以及一第二积分放大器，所述第二积分电容的一端连接到所述第二积分放大器的一输出端，所述输出端产生所述第一级积分器的所述输出信号，所述第二积分电容的一另一端连接到所述第二积分放大器的一反相输入端，所述第二积分放大器的一非反相输入端为接地，所述充放电电容的一端连接到所述第一节点，所述充放电电容的一另一端在所述第一开关信号为高位准时通过所述第一切换开关而连接到所述高参考电压，并在所述第二开关信号为高位准时通过所述第一切换开关而连接到所述低参考电压， 所述第二切换开关的一端为接地，所述第二切换开关的一另一端连接到所述第一节点，所述第三切换开关的一端连接到所述第一节点，所述第三切换开关的一另一端连接到所述第二积分放大器的所述反相输入端；所述输入模块进一步包括一第一电容以及一第二电容，所述第一电容的一端接地，所述第一电容的一另一端接到一第二节点，所述第二电容的一端为接地，所述第二电容的一另一端连接到所述第一节点，所述第二节点在所述第一开关信号为高位准时经由所述第四切换开关连接到所述第一参考电压，所述第二节点并在所述第二开关信号为高位准时经由所述第五切换开关连接到接地。 |
