发明名称 |
介电涂层在半导体基材上的电沉积 |
摘要 |
一种方法包括:将半导体基材浸入电沉积组合物,其中所述组合物中至少20重量%的树脂固体是高度交联的微凝胶组分,和在所述基材与所述组合物之间施加电压,从而在基材上形成介电涂层。一种用于电沉积的组合物包括树脂共混物、聚结溶剂、催化剂、水和高度交联的微凝胶,其中所述组合物中至少20重量%的树脂固体是高度交联的微凝胶。另一种用于电沉积的组合物包括表面活性剂共混物、低离子多元醇、苯氧基丙醇、催化剂、水、增韧剂和高度交联的微凝胶,其中所述组合物中至少20重量%的树脂固体是高度交联的微凝胶。 |
申请公布号 |
CN102016131B |
申请公布日期 |
2012.12.26 |
申请号 |
CN200980114874.7 |
申请日期 |
2009.03.18 |
申请人 |
PPG工业俄亥俄公司 |
发明人 |
K·L·摩尔;M·J·鲍里克;M·G·桑德拉;C·A·威尔逊 |
分类号 |
C25D7/12(2006.01)I;C25D13/04(2006.01)I;C25D13/22(2006.01)I;C09D5/44(2006.01)I |
主分类号 |
C25D7/12(2006.01)I |
代理机构 |
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 |
代理人 |
陈宙 |
主权项 |
一种使涂料沉积在半导体基材上的方法,其包括:将半导体基材浸入电沉积组合物,其中所述组合物包含树脂共混物、聚结溶剂、催化剂、水和高度交联的微凝胶,其中所述组合物中至少20重量%的树脂固体是高度交联的微凝胶组分;或者所述组合物包含表面活性剂共混物、低离子多元醇、苯氧基丙醇、催化剂、水、增韧剂和高度交联的微凝胶,其中所述组合物中至少20重量%的树脂固体是高度交联的微凝胶组分;和在所述基材与所述组合物之间施加电压,从而在所述基材上形成介电涂层。 |
地址 |
美国俄亥俄州 |