| 发明名称 | 在衬底的双面制造器件的方法以及衬底 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种在衬底的双面制造器件的方法以及衬底。所述方法包括如下步骤：提供器件衬底，所述器件衬底具有相对的第一表面和第二表面，且第一表面具有多个器件；提供第一支撑衬底，所述第一支撑衬底表面具有第一绝缘层；以第一绝缘层为中间层，将器件衬底的第一表面同第一支撑衬底键合；减薄器件衬底的第二表面；在器件衬底的暴露出的第二表面上制作器件。本发明的优点在于，在第二表面制作器件的工艺步骤不会对第一表面造成影响，并且由于键合了第一支撑衬底作为支撑结构而不必担心碎裂问题。 | ||
| 申请公布号 | CN102842488A | 申请公布日期 | 2012.12.26 |
| 申请号 | CN201210303906.1 | 申请日期 | 2012.08.24 |
| 申请人 | 上海新傲科技股份有限公司 | 发明人 | 张峰;曹共柏;郑健;杨云龙;魏星;王文宇;马乾志;张苗 |
| 分类号 | H01L21/02(2006.01)I;H01L21/768(2006.01)I;H01L27/146(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 | 代理人 | 孙佳胤;翟羽 |
| 主权项 | 一种在衬底的双面制造器件的方法，其特征在于，包括如下步骤：提供器件衬底，所述器件衬底具有相对的第一表面和第二表面，且第一表面具有多个器件；提供第一支撑衬底，所述第一支撑衬底表面具有第一绝缘层；以第一绝缘层为中间层，将器件衬底的第一表面同第一支撑衬底键合；减薄器件衬底的第二表面；在器件衬底的暴露出的第二表面上制作器件。 | ||
| 地址 | 201821 上海市嘉定区普惠路200号 | ||