喷墨头、使用喷墨头形成图像的方法、角速度传感器、使用角速度传感器测定角速度的方法、压电发电元件以及使用压电发电元件的发电方法

摘要

本发明的目的是提供一种具有钙钛矿型复合氧化物(NaxBiy)TiO0.5x+1.5y+2－BaTiO3层、能够测定准确的角速度的角速度传感器、能够排出准确的量的墨水的喷墨头和能够利用正压电效应发电的压电发电元件。在本发明中，使用具备第一电极、压电体层和第二电极的压电体膜，第一电极具备具有(001)取向的电极层，压电体层具备具有(001)取向的(NaxBiy)TiO0.5x+1.5y+2－BaTiO3（0.30≤x≤0.46且0.51≤y≤0.62）层。

主权项

一种使用角速度传感器测定角速度的方法，其特征在于，包括：准备包括具有振动部的基板和与所述振动部接合的压电体膜的所述角速度传感器的工序（a），其中，所述压电体膜具备第一电极、压电体层和第二电极，所述压电体层被夹在所述第一电极与所述第二电极之间，所述第一电极具备具有(001)取向的电极层，所述压电体层具备具有(001)取向的(NaxBiy)TiO0.5x+1.5y+2－BaTiO3层，其中0.30≤x≤0.46，0.51≤y≤0.62，所述第一电极和第二电极的任一个构成包含驱动电极和传感电极的电极组；通过将驱动电压经由从所述第一电极和第二电极的另一个电极以及所述驱动电极施加到所述压电体层，使所述振动部振动的工序（b）；和经由所述另一个电极和所述传感电极，对因施加在振动中的所述振动部的角速度而在所述振动部产生的变形进行测定，由此获得所述施加的角速度的值的工序（c），因所述变形而产生的应变量B和所述第一与第二电极之间的电场A满足以下的等式B＝cA（c是常数）。