太阳能电池制绒表面的抛光方法及抛光装置

摘要

本发明提供一种太阳能电池制绒表面的抛光方法和抛光装置，其基于大功率射频激发的行波耦合等离子体技术，不依赖于晶体硅片的表面状态，工艺操作十分方便、易于控制，具有更好的可靠性和重复性；不存在液态制绒对硅片的机械冲击损伤，提高了太阳能电池片的机械强度，大大降低了破损率；而且排放物很容易通过洗气装置实现符合环保要求的排放，可以满足大面积等离子体均匀处理的要求。该方法能够完全抛光初期制绒导致的绒面结构，表面结构分布均匀、光滑，这为下一步的多晶硅表面背电极钝化技术乃至提高光电转换效率奠定了必要的基础。

主权项

一种太阳能电池制绒表面的抛光方法，其特征在于：采用射频激发的行波耦合等离子体对制绒表面进行抛光。