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发明名称 LITHOGRAPHIC APPARATUS AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号 EP2537069(A1) 申请公布日期 2012.12.26
申请号 EP20110700272 申请日期 2011.01.14
申请人 ASML NETHERLANDS BV 发明人 PADIY, ALEXANDRE, VIKTOROVYCH;MENCHTCHIKOV, BORIS
分类号 G03F7/20;G03F9/00 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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