发明名称 一种单晶硅制绒液及其使用方法
摘要 本发明公开一种单晶硅制绒液,包括无机碱性腐蚀液,其特征在于:所述无机碱性腐蚀液中添加有表面活性剂和醇类,所述表面活性剂的量相当于碱性腐蚀液质量的0.02~0.6%,所述醇类的量相当于碱性腐蚀液质量0.1~8%。本发明使单晶硅片的小绒面“金字塔”均匀,尺寸小于2μm,且无白斑无明显印痕。
申请公布号 CN102191565B 申请公布日期 2012.12.26
申请号 CN201110094736.6 申请日期 2011.04.15
申请人 中节能太阳能科技(镇江)有限公司 发明人 魏文文;勾宪芳;吴回君;孙晨财;陈呈;高荣刚;王鹏;姜利凯
分类号 H01L31/18(2006.01)I 主分类号 H01L31/18(2006.01)I
代理机构 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 代理人 柏尚春
主权项 一种单晶硅制绒液,包括无机碱性腐蚀液,其特征在于:所述无机碱性腐蚀液中添加有表面活性剂和醇类,所述表面活性剂的量相当于碱性腐蚀液质量的0.02~0.6%,所述醇类的量相当于碱性腐蚀液质量0.1~8%;所述表面活性剂为分散剂MF和萘磺酸甲醛缩合物的混合物,所述分散剂MF和萘磺酸甲醛缩合物的质量比为3~5:1。
地址 江苏省镇江市新区通港路1号
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