发明名称 |
一种单晶硅制绒液及其使用方法 |
摘要 |
本发明公开一种单晶硅制绒液,包括无机碱性腐蚀液,其特征在于:所述无机碱性腐蚀液中添加有表面活性剂和醇类,所述表面活性剂的量相当于碱性腐蚀液质量的0.02~0.6%,所述醇类的量相当于碱性腐蚀液质量0.1~8%。本发明使单晶硅片的小绒面“金字塔”均匀,尺寸小于2μm,且无白斑无明显印痕。 |
申请公布号 |
CN102191565B |
申请公布日期 |
2012.12.26 |
申请号 |
CN201110094736.6 |
申请日期 |
2011.04.15 |
申请人 |
中节能太阳能科技(镇江)有限公司 |
发明人 |
魏文文;勾宪芳;吴回君;孙晨财;陈呈;高荣刚;王鹏;姜利凯 |
分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
代理机构 |
南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 |
代理人 |
柏尚春 |
主权项 |
一种单晶硅制绒液,包括无机碱性腐蚀液,其特征在于:所述无机碱性腐蚀液中添加有表面活性剂和醇类,所述表面活性剂的量相当于碱性腐蚀液质量的0.02~0.6%,所述醇类的量相当于碱性腐蚀液质量0.1~8%;所述表面活性剂为分散剂MF和萘磺酸甲醛缩合物的混合物,所述分散剂MF和萘磺酸甲醛缩合物的质量比为3~5:1。 |
地址 |
江苏省镇江市新区通港路1号 |