一种晶硅铸锭炉双腔室热场及其控制方法

摘要

本发明公开了一种晶硅铸锭炉双腔室热场及其控制方法。目前所有铸锭炉都是用固定热腔的设计，实际生产过程中存在无法兼顾晶体熔化和晶体生长工艺时间的弊端，同时一旦热场部件安装完成便只能使用固定的固液界面，无法在生长过程中不断修正固液界面，晶体生长可控性不强。本发明的特征在于所述绝热笼的内壁上设有一圈抵触在其上且能沿其升降的绝热隔板，绝热隔板由绝热材料制成，绝热隔板位于绝热笼的内壁与热交换台外壁之间，位于热交换台两侧的绝热隔板上均固接一吊杆，所述的吊杆上端穿过绝热笼与一升降驱动机构连接。本发明通过升降绝热隔板来修正任何时刻的固液界面及硅熔体及固体的温度梯度，实现了最佳的晶体生长环境和控制固液界面的形状。

主权项

一种晶硅铸锭炉双腔室热场，包括绝热笼、设置于绝热笼内的加热器、用于放置坩埚的热交换台和用于热交换台与绝热笼外部间进行散热的热门，所述绝热笼的下方设有一水冷板或水冷炉壁，热交换台置于绝热笼内，其特征在于：所述绝热笼的内壁上设有一圈抵触在其上且能沿其升降的横向隔板，隔板由绝热材料制成，隔板位于绝热笼的内壁与热交换台外壁之间，位于热交换台两侧的隔板上均固接一吊杆，所述的吊杆上端穿过绝热笼与一升降驱动机构连接。