发明名称 相变随机存取存储器件及其制造方法
摘要 本发明公开了一种相变随机存取存储(PCRAM)器件及其制造方法。所述PCRAM器件包括:半导体衬底;结字线,所述结字线被形成在所述半导体衬底上;外延字线,所述外延字线被形成在所述结字线上;以及开关器件,所述开关器件被形成在所述外延字线上。
申请公布号 CN102842673A 申请公布日期 2012.12.26
申请号 CN201210185827.5 申请日期 2012.06.07
申请人 爱思开海力士有限公司 发明人 李章旭
分类号 H01L45/00(2006.01)I;H01L27/24(2006.01)I 主分类号 H01L45/00(2006.01)I
代理机构 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 代理人 俞波;郭放
主权项 一种相变随机存取存储器件即PCRAM器件,包括:半导体衬底;结字线,所述结字线被形成在所述半导体衬底上;外延字线,所述外延字线被形成在所述结字线上;以及开关器件,所述开关器件被形成在所述外延字线上。
地址 韩国京畿道