微小构造体及其制造方法

摘要

在使用复数片透镜或DOE时难以实现高精度的对准。本发明是于内面具有微小构造的微小构造体及其制造方法，其包含：于第1层表面形成第1图案的步骤；于所形成的该第1层表面上使该第1层表面的一部分露出而形成牺牲层的步骤；于该牺牲层表面形成第2图案的步骤；于该牺牲层及该第1层表面的一部分上形成第2层的步骤；以及除去构成该牺牲层的构件的步骤；在于第1层表面形成该第1图案的步骤与于该牺牲层形成该第2图案的步骤中，分别以同一对准标记为基准形成图案。由此能实现高精度的对准。

主权项

一种微小构造体的制造方法，所述微小构造体在内面所对向的面具有微小构造，其特征在于，所述方法包含：于第1层表面形成第1图案的步骤；于所形成的所述第1层表面上形成牺牲层的步骤；于所述牺牲层表面形成第2图案的步骤；于所述牺牲层及所述第1层表面的一部分上形成第2层的步骤；以及除去构成所述牺牲层的构件的步骤；于所述第1层形成所述第1图案的步骤与于所述牺牲层形成所述第2图案的步骤中，分别以同一对准标记为基准形成图案。