发明名称 射频识别芯片制造方法
摘要 本发明提出一种可印刷全聚合物射频识别芯片及其制造方法,其以导电高分子或纳米金属(金或银)墨水经打印或印刷而成电极和接点,以铁电高分子聚(偏氟乙烯-三氟乙烯)共聚物[P(VDF-TrFE)]为电介质,组装全部基于聚合物的信息存储器,其“电路”可以用导电材料直接“印刷”在聚合物薄层上,同时天线也由导电墨水直接打印或印刷而成,摆脱了传统无机晶体管制造中必须使用的真空过程和刻蚀技术,极大地简化了组装工艺,可以进行大规模连续生产,降低了生产成本。
申请公布号 CN101359633B 申请公布日期 2012.12.26
申请号 CN200710044334.9 申请日期 2007.07.30
申请人 徐海生 发明人 徐海生
分类号 H01L21/84(2006.01)I 主分类号 H01L21/84(2006.01)I
代理机构 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 代理人 翟羽;田兴中
主权项 一种射频识别芯片的制造方法,其特征在于包括如下步骤:首先在塑料基片上涂布导电高分子材料形成底电极;待干燥后在底电极上涂布铁电聚合物;涂布完铁电聚合物后先在室温干燥,然后在烘箱中退火;待铁电聚合物冷却至室温后,在铁电聚合物上涂布上电极,上电极材料为纳米导电银浆,上电极材料纳米银的配方为:0.3‑0.4g醋酸银、4‑6g十六烷基胺、70‑100ml甲苯、0.2‑0.3g苯肼,在60℃温度下反应1小时;然后在大气中干燥;最后在基片上印刷天线。
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