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发明名称
摘要
申请公布号
JP5106513(B2)
申请公布日期
2012.12.26
申请号
JP20090247676
申请日期
2009.10.28
申请人
发明人
分类号
H01L21/8246;G11C11/15;H01L27/105
主分类号
H01L21/8246
代理机构
代理人
主权项
地址
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