一种用于异质结太阳能电池薄膜沉积系统

摘要

本实用新型目的一种用于异质结太阳能电池薄膜沉积系统，包括依次设置的承载室、三个缓冲室、两个以上沉积室以及卸载室；其中，所述承载室和所述卸载室分别用于装载和卸载承载盘，所述缓冲室具隔离两种镀膜机制，且至少有一个具有承载盘加热机构；每个沉积室分别执行不同的膜层沉积；不同功能的腔室皆使用隔离门进行隔离，以实现不同的功能，本实用新型将缓冲室设置于不同薄膜沉积系中，使两种系统合而为一，降低设备设置成本，且因一次性完成两种薄膜的沉积，无需破除真空后再将承载盘载入另一套系统，大大节省生产时间，有效降低承载盘受环境的污染。

主权项

一种用于异质结太阳能电池薄膜沉积系统，包括依次设置的承载室、三个缓冲室、两个以上沉积室以及卸载室；其中，所述承载室和所述卸载室分别用于装载和卸载承载盘，所述缓冲室具隔离两种镀膜机制，且至少有一个具有承载盘加热机构；每个沉积室分别执行不同的膜层沉积，以实现不同的功能。