光斑消减器及包括光斑消减器的投影单元

摘要

本发明涉及一种光斑消减设备，该光斑消减设备包括光学元件（20、120），所述光学元件用于被待处理的相干光束穿过。所述设备还包括：能够造成所述光学元件（20、120）发热的装置（22、123）；以及降温元件（26），所述降温元件与所述光学元件（20、120）联接，以便能够对所述光学元件进行降温。控制模块（34、134）被配置为用于控制所述加热装置和降温元件，以在所述光学元件（20、120）中产生热扰动，导致所述光学元件折射率的相对应的变化。所述光学元件为压电晶体，以造成所述压电晶体发热的特定变形模式来激发所述压电晶体。

主权项

一种用于相干光束的光斑消减设备，所述设备包括光学元件（20、120），所述光学元件用于被待处理的相干光束穿过，所述设备的特征在于：能够造成所述光学元件（20、120）被加热的装置（22、123）；降温元件（26），所述降温元件与所述光学元件（20、120）联接，以便能够对所述光学元件进行降温；控制模块（34、134），所述控制模块被配置为用于控制所述加热装置和降温元件，以在所述光学元件（20、120）中产生随机或伪随机的热扰动，从而导致所述光学元件的折射率的相对应的变化，并且在所述设备中，所述光学元件为压电晶体；所述加热装置包括施加在所述晶体（120）上的电极（123），所述电极与所述控制模块（134）连接，以激发造成所述晶体被加热的晶体振动模式。