发明名称 | 用于对准电子电路板的对准装置及方法 | ||
摘要 | 一种用于对准电子电路板(11)的对准装置包括:传送装置(13),该传送装置(13)能够沿传送轴将该电路板(11)至少从入口位置(14)传送至界定对准平面的对准位置(15)。该装置还包括活动构件(20),该活动构件(20)具有:第一移动构件(33),该第一移动构件(33)能够在第一方向上移动该活动构件(20),以使该活动构件(20)关联于该电路板(11),该第一方向的指向为第一轴,第一轴基本上与该对准平面垂直;第二移动构件(28),该第二移动构件(28)能够围绕该第一轴旋转与该活动构件(20)相关联的电路板(11);以及至少第三移动构件(34),该第三移动构件(34)能够在第二方向上移动与该活动构件(20)相关联的电路板(11),该第二方向的指向为第二轴,第二轴基本上横切于该第一轴,且基本上与该传送轴共平面。 | ||
申请公布号 | CN102842529A | 申请公布日期 | 2012.12.26 |
申请号 | CN201210299577.8 | 申请日期 | 2008.03.05 |
申请人 | 应用材料意大利有限公司 | 发明人 | 安德烈亚·贝茨尼 |
分类号 | H01L21/68(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/68(2006.01)I |
代理机构 | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人 | 徐金国;钟强 |
主权项 | 一种用于对准电子电路板的对准装置,包括:传送装置,用于沿传送轴(Y)于活动对准塔上方将该电路板至少从入口位置传送至对准位置,该对准位置界定对准平面(P),该活动对准塔包括:第一移动构件,用于在第一方向上垂直移动该活动对准塔的一部分,以便相对于该电路板移动该活动对准塔的该部分,该第一方向的指向为第一轴(Z),该第一轴(Z)基本上与该对准平面(P)垂直;第二移动构件,用于围绕该第一轴(Z)旋转该第一移动构件;以及第三移动构件,用于在第二方向上移动该第一移动构件,该第二方向的指向为第二轴(X),该第二轴(X)基本上横切于该第一轴(Z),且基本上与该传送轴(Y)垂直且共平面,其中该活动对准塔包括连接构件,该连接构件用于将该第二移动构件和第三移动构件的移动连接和传送至该第一移动构件,且该第一移动构件具有操作器,该操作器配置为操作该电路板。 | ||
地址 | 意大利圣比亚焦迪卡拉尔塔 |