激光能测量装置与激光加工装置

摘要

本发明的课题在于拓宽激光光能的测量范围。根据本发明，激光能测量装置(32)具备：设置在激光(2b)的光路中并使上述激光(2b)的光能衰减的滤光器(21)；对通过上述滤光器(21)的激光(2b)的光能进行测量的运算部(19)；以及配设在滤光器(21)之前并将激光(2b)聚光在运算部(19)上的聚光镜(17)。滤光器(21)在与激光(2b)的中心一致的位置上具备阻止激光(2b)中心部分通过的遮挡部(21a)。激光(2b)被遮挡部(21a)切除掉能量较大的中心部分，并通过运算部(19)来测量能量不太大的部分。由此可以拓宽激光的光能测量范围。

主权项

一种激光能测量装置，具备：掩模，其具有多个直径不同的掩模孔，能够将与欲加工孔的直径匹配的上述掩模孔定位在激光的光路中，衰减部件，其设置于已通过上述掩模的掩模通过激光的光路中并使上述掩模通过激光的光能衰减；测量机构，其对已通过上述衰减部件的上述掩模通过激光的光能进行测量，该激光能测量装置的特征在于，具备聚光镜，其配设在上述衰减部件前后的一方并将上述掩模通过激光聚光在上述测量机构上，上述衰减部件在与上述掩模通过激光的中心一致的位置上具备阻止上述掩模通过激光的中心部分通过的遮挡部，在上述遮挡部的周围具备使上述掩模通过激光衰减的多个贯穿孔，上述贯穿孔形成于下述区域，即：比上述多个掩模孔内的直径最大的掩模孔位于上述激光的光路中时的上述掩模通过激光的光能分布的区域更宽的区域。