一种三轴罗茨真空泵

摘要

本发明涉及一种真空泵，具体涉及一种三轴罗茨真空泵。包括电机、主轴和从动轴，主轴上装配有主动齿轮，与主动齿轮相啮合的从动齿轮装配在从动轴上，在主轴和从动轴上装有罗茨转子，所述的从动轴有两根，平行且对称的装配在主轴的两侧。本发明具有结构紧凑、结构对称、三作用抽气和泵腔内无油的特点，能实现较大的抽气速率。

主权项

一种三轴罗茨真空泵，其中电机（1）通过联轴器（2）与主轴（3）相连接，主动齿轮（4），左从动齿轮（13）和右从动齿轮（5）通过键连接分别装配在主轴（3），左从动轴（12）和右从动轴（6）上，其特征在于三根轴呈平行布置，中间的主轴（3）由电机（1）驱动，在三个同步齿轮带动下，三根轴作彼此反向的旋转运动，在主轴（3），左从动轴（12）和右从动轴（6）上均固定有罗茨转子，罗茨转子通过键连接分别固定在三根轴上，主轴（3），左从动轴（12）和右从动轴（6）两端的轴肩处均装配有轴承，上轴承（17）固定在上轴承座（21）上，上轴承座（21）内部的空腔与上轴承座（21）侧面的排气口相连，上轴承座（21）的上端面通过螺栓与齿轮箱（15）相连，在三根轴延伸到齿轮箱（15）的轴肩部分装配有主动齿轮（4），左从动齿轮（13）和右从动齿轮（5），齿轮箱（15）通过螺栓与电机架（18）相连接，电机（1）通过螺栓与电机架（18）相连接，齿轮箱（15）的下端面通过螺栓与泵体（20）相连接，泵体（20）内部的罗茨转子组之间通过隔板(10)隔开，隔板(10)上设置有三个轴孔，在左从动轴(12)的轴孔下方开一气孔，在右从动轴(6)的轴孔上方开一气孔，两个气孔沿轴孔所在的直线上下对称分布，下轴承座(9)通过螺栓与泵体(20)相连接，下轴承座（9）内部的空腔为进气腔（16），在进气腔(16)的顶部下轴承座(9)上开有进气口(14)，进气口(14)与进气管路相连接，轴承端盖(19)通过螺栓与下轴承座(9)相连接。