非球面光学零件短流程加工方法

摘要

本发明公开了一种非球面光学零件短流程加工方法，包括以下步骤：先对非球面光学零件进行研磨粗抛，并视情况利用磁流变进行损伤去除；然后通过面形误差测量得到的面形误差峰谷值与面形误差的均方根值的比值来判断，如果比值小于10时，进入磁流变修形迭代加工步骤去除低频面形误差，直到达到面形精度要求结束加工；否则，采用计算机控制小工具光顺迭代加工步骤去除中、高频面形误差，直到面形误差测量与分析结果显示面形误差峰谷值与面形误差均方根值的比值小于10时，进入磁流变修形迭代加工步骤去除低频面形误差，直到面形精度满足要求。本发明的加工方法具有高效率、高精度的优点。

主权项

一种非球面光学零件短流程加工方法，主要包括以下步骤：(a)研磨粗抛：对非球面光学零件进行研磨粗抛后，如果所述非球面光学零件表面出现损伤，利用磁流变进行损伤去除，否则，进入步骤(b)；(b)面形误差测量与分析：通过面形误差测量得到面形误差峰谷值与面形误差的均方根值，然后根据面形误差峰谷值与面形误差均方根值的比值来判断，即如果所述比值小于10时，进入下述步骤(c1)，否则，进入下述步骤(c2)；(c)继续选择性加工：所述选择性加工过程包括(c1)采用磁流变修形迭代加工步骤去除低频面形误差，直到达到面形精度要求结束加工，否则，回到步骤(b)；或(c2)采用计算机控制小工具光顺迭代加工步骤去除中、高频面形误差，直到面形误差测量与分析结果显示面形误差峰谷值与面形误差均方根值的比值小于10时，进入所述步骤(c1)。