取放报警装置及运输盒的开关装置

摘要

本实用新型公开了一种取放报警装置及运输盒的开关装置，取放报警装置，用于监控操作人员是否将晶圆或光罩正确取出或存入运输盒的开关装置内，所述运输盒的开关装置包括支撑框架、设置于支撑框架内的运输盒以及用于将运输盒打开的执行机构，所述运输盒包括底座和上盖，所述底座上设有后侧挡片和与所述后侧挡片相邻的两个侧面挡片，所述取放报警装置包括一用于监控运输盒是否打开的打开状态侦测器、一用于监控晶圆或光罩在取放过程中是否越过后侧挡片所在直线的越位侦测器、一报警器以及复位按钮，所述复位按钮、打开状态侦测器、越位侦测器以及所述报警器依次连接。还公开了一种运输盒的开关装置。本实用新型可以提醒操作人员进行正确的取放工作，确保光罩或晶圆的安全。

主权项

一种取放报警装置，用于监控操作人员是否将晶圆或光罩正确取出或存入运输盒的开关装置内，所述运输盒的开关装置包括支撑框架、设置于所述支撑框架内的运输盒以及用于将运输盒打开的执行机构，所述运输盒包括底座和上盖，所述底座上设有后侧挡片和与所述后侧挡片相邻的两个侧面挡片，其特征在于，所述取放报警装置包括：一用于监控运输盒是否打开的打开状态侦测器、一用于监控晶圆或光罩在取放过程中是否越过后侧挡片所在直线的越位侦测器、一报警器以及一复位按钮，所述复位按钮、打开状态侦测器、越位侦测器以及所述报警器依次连接。