| 发明名称 | 用于晶圆的退火舟以及退火装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型提供了一种用于晶圆的退火舟以及退火装置，所述用于晶圆的退火舟包括基座和设置在基座表面的一圆弧形侧壁，所述侧壁上平行设置有多个水平凹槽，所述凹槽内壁上设置有至少三个的突起。本实用新型的优点在于，实现了在卧式炉上让晶圆水平进行热处理，舟在放置于桨的一端时，即使桨发生翘曲差异，也不会造成晶圆的倾斜，不会对晶圆侧面造成损伤，且晶圆侧边也不再承担本身重量，有效减少崩边和缺口等现象。 | ||
| 申请公布号 | CN202633251U | 申请公布日期 | 2012.12.26 |
| 申请号 | CN201220185498.X | 申请日期 | 2012.04.27 |
| 申请人 | 上海新傲科技股份有限公司 | 发明人 | 叶斐;王中党;蒋爱国 |
| 分类号 | H01L21/673(2006.01)I;H01L21/324(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/673(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 | 代理人 | 孙佳胤;翟羽 |
| 主权项 | 一种用于晶圆的退火舟，其特征在于，包括基座和设置在基座表面的一圆弧形侧壁，所述侧壁上平行设置有多个水平凹槽，所述凹槽内壁上设置有至少三个的突起。 | ||
| 地址 | 201821 上海市嘉定区普惠路200号 | ||