发明名称 压电体膜、喷墨头、使用喷墨头形成图像的方法、角速度传感器、使用角速度传感器测定角速度的方法、压电发电元件以及使用压电发电元件的发电方法
摘要 本发明的目的在于提供含有非铅强介电材料、具有低介电损失和与PZT相同的高压电性能的压电体膜及其制造方法。本发明的压电体膜具备具有(110)取向的(NaxBiy)TiO0.5x+1.5y+2-BaTiO3层(0.30≤x≤0.46且0.51≤y≤0.62)。
申请公布号 CN102844901A 申请公布日期 2012.12.26
申请号 CN201180019085.2 申请日期 2011.06.14
申请人 松下电器产业株式会社 发明人 张替贵圣;田中良明;足立秀明;藤井映志
分类号 H01L41/187(2006.01)I;H01L41/09(2006.01)I;B41J2/14(2006.01)I;G01C19/5607(2012.01)I;H01L41/113(2006.01)I 主分类号 H01L41/187(2006.01)I
代理机构 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 代理人 龙淳
主权项 一种压电体膜,其特征在于:具备具有(110)取向的(NaxBiy)TiO0.5x+1.5y+2-BaTiO3层,其中0.30≤x≤0.46,0.51≤y≤0.62。
地址 日本大阪府