一种悬空圆盘阵列微结构及其制备方法

摘要

本发明公开了一种悬空圆盘阵列微结构及其制备方法，该悬空圆盘阵列微结构由非密堆石英或玻璃纤维阵列、位于纤维阵列尖端的金属圆盘组成；石英或玻璃纤维阵列的直径2-200μm，周期为5-500μm，金属圆盘直径为2-200μm。其制备方法包括以下步骤：在非密堆石英或玻璃纤维阵列内填充聚合物；然后沿着垂直于纤维的方向切片，通过化学镀方法在纤维一端生长直径大于纤维直径的金属圆盘；去除部分聚合物使得金属圆盘悬空，即得悬空圆盘阵列微结构。本发明结构新颖，制备简单，可在光学、电学、磁学等领域获得应用。

主权项

一种悬空圆盘阵列微结构，其特征在于，该悬空圆盘阵列微结构由非密堆石英或玻璃纤维阵列和位于纤维阵列尖端的金属圆盘组成；石英或玻璃纤维阵列的直径2‑200μm，周期为5‑500μm，金属圆盘直径为2‑200μm。