发明名称 复合埋入式元件结构及其制造方法
摘要 本发明提供一种复合埋入式元件结构及其制造方法。复合埋入式元件结构包括至少两核心基板构成的一复合基板结构,至少两核心基板之间是通过一粘结层结合。一第一开口于一上层核心基板中,及一第二开口于一下层核心基板中,其中该第一开口大于该第二开口构成一倒凸字型空间。一芯片具有第一组电性接触垫,固定于至少两绝缘材料叠层上,并镶入该倒凸字型空间,其中该芯片埋入该第二开口中,并与该下层核心基板之间具有一空隙。多个导盲孔穿透至少两材料叠层,对应并电性连接多个电性接触垫,以及一绝缘层设置于该复合基板结构上,且覆盖多个导盲孔与至少两绝缘材料叠层上。本发明的结构可承受应力增减,降低基板因应力变化所产生的形变。
申请公布号 CN102117782B 申请公布日期 2012.12.26
申请号 CN201010001426.0 申请日期 2010.01.06
申请人 南亚电路板股份有限公司 发明人 林贤杰;张腾宇
分类号 H01L23/13(2006.01)I;H01L21/50(2006.01)I;H01L21/58(2006.01)I 主分类号 H01L23/13(2006.01)I
代理机构 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 代理人 姜燕;邢雪红
主权项 一种复合埋入式元件结构,包括:至少两核心基板构成的一复合基板结构,所述至少两核心基板之间是通过一粘结层结合;一第一开口于一上层核心基板中,及一第二开口于一下层核心基板中,其中该第一开口大于该第二开口构成一倒凸字型空间;一芯片具有第一组电性接触垫,固定于至少两绝缘材料叠层上,并镶入该倒凸字型空间,其中该芯片埋入该第二开口中,并与该下层核心基板之间具有一空隙;多个导盲孔穿透所述至少两绝缘材料叠层,对应并电性连接所述多个电性接触垫;以及一绝缘层设置于该复合基板结构上,且覆盖所述多个导盲孔与所述至少两绝缘材料叠层上。
地址 中国台湾桃园县