COATING APPARATUS, COATING METHOD, COATING DEVELOPING APPARATUS AND COMPUTER READABLE MEDIUM
摘要
<p>액막 형성 기구는, 기판 이면의 주연부에 대향한 대향면부(51)와 대향면부에 처리액을 공급하는 처리액 공급부(52A)를 갖는다. 또한, 도포 장치는 회전하는 기판의 주연부의 상하 흔들림을 억제하기 위해, 기판 유지부(21)의 주위에 배치된 자세 제어 기구(6)를 구비한다. 자세 제어 기구는, 주연부보다도 내측의 영역에 가스를 토출하는 토출 구멍(62A)을 기판의 회전 방향을 따라 갖는다.</p>
