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经营范围
发明名称
GUARD RING FOR IMPROVED MATCHING
摘要
<p>몇몇 실시예에서, 매칭된 장치들의 각각의 어레이들을 둘러싸는 다수의 가드 링들은 서로 로컬적이지 않도록 이격된다. 각각의 가드 링들에 의한 평등화 효과에 기초하여, 내부 영역들에 배열된 각각의 장치들은 멀리 이격된 가드 링들 내에서 등가의 장치들에 더욱 평평하게 매칭된다. 따라서, 양측 로컬 및 글로벌 매칭이 달성된다.</p>
申请公布号
KR101215425(B1)
申请公布日期
2012.12.26
申请号
KR20050085840
申请日期
2005.09.14
申请人
发明人
分类号
H01L21/027
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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