发明名称 ENVIRONMENTAL CONTROL IN A RETICLE SMIF POD
摘要
申请公布号 EP1866094(B1) 申请公布日期 2012.12.26
申请号 EP20060749321 申请日期 2006.04.04
申请人 ENTEGRIS, INC. 发明人 HALBMAIER, DAVID, L.;SIMPSON, ANTHONY;GOODWIN, WILLIAM, M.;KISHKOVICH, OLEG, P.;KIELBASO, TOM;MANGANIELO, FRANK
分类号 H01L21/673 主分类号 H01L21/673
代理机构 代理人
主权项
地址