过滤器装置、过滤器的收容方法、及曝光装置

摘要

过滤器装置，具备：过滤器箱，具备保持过滤器的框架，以及设于框架的侧面的至少一部分、往框架的端面侧且变化至框架外侧的形状变化部；以及收容部，为收容过滤器箱；盒体具有卡合于框架的形状变化部而定位框架的定位块与按压框架的端面的分隔板。能将框架的设置以容易定位的方式进行。

主权项

一种过滤器装置，为收容过滤器，其特征在于，具备：第1过滤器箱，具备保持第1过滤器的第1框架，以及设于前述第1框架的侧面中第1侧面的至少一部分、从前述第1框架的两个端面中一端面侧往另一端面侧且变化至前述第1框架外侧的第1形状变化部；以及收容部，收容前述第1过滤器箱；前述收容部，具备支撑前述第1框架的与前述第1侧面相异的侧面的第1底座构件、卡合于前述第1框架的前述第1形状变化部以定位前述第1框架的第1定位构件、以及通过前述第1定位构件与前述第1形状变化部卡合而按压前述第1框架的前述一端面的第1分隔构件。