固体拍摄装置及其制造方法

摘要

一种固体拍摄装置及其制造方法。固体拍摄装置包括：半导体基板，具有第1主面和与第1主面相对的第2主面；第1、第2光电变换层，形成于半导体基板内，将入射光变换为电信号；电路，形成于第1主面，并处理从第1、第2光电变换层输出的电信号；第1滤色器，对应第1光电变换层地配置于第2主面上，并具有第2主面侧的第1下表面和与第1下表面相对的第1上表面；第2滤色器，对应于第2光电变换层地配置于第2主面上，并具有第2主面侧的第2下表面和与第2下表面相对的第2上表面；第1滤色器是透射通过半导体基板的光的分光滤色器；在对第2主面垂直的剖面，第1下表面的长度比第1上表面的长度长，第2下表面的长度比第2上表面的长度短。

主权项

一种固体拍摄装置，其特征在于，包括：半导体基板，具有第1主面和与上述第1主面相对的第2主面；第1、第2光电变换层，形成于上述半导体基板内，并将入射光变换为电信号；电路，形成于上述第1主面，并处理从上述第1、第2光电变换层输出的电信号；第1滤色器，以对应于上述第1光电变换层的方式配置于上述第2主面上，并具有上述第2主面侧的第1下表面以及与上述第1下表面相对的第1上表面；第2滤色器，以对应于上述第2光电变换层的方式配置于上述第2主面上，并具有上述第2主面侧的第2下表面以及与上述第2下表面相对的第2上表面；其中，上述第1滤色器是透射通过了上述半导体基板的光的分光滤色器；在对于上述第2主面垂直的剖面中，上述第1下表面的长度比上述第1上表面的长度长，上述第2下表面的长度比上述第2上表面的长度短。