感测装置及其力感测系统

摘要

一种力感测装置及其力感测系统。力感测装置包括可相对运动地至少一层磁性材料层及力感测层。力感测层包括两感测元件。第一感测元件设置在磁性材料层的第一轴向，用以产生随着力感测装置所受的第一横向力而变动的感测信号。第一横向力为使第一感测元件与磁性材料层于第一轴向产生相对运动，用以产生代表第一横向力。第二感测元件设置在磁性材料层的第二轴向，用以产生随着力感测装置所受的第二横向力而变动的感测信号。第二横向力为使第二感测元件与磁性材料层于第二轴向产生相对运动，用以产生代表第二横向力。

主权项

一种力感测装置，包括：至少一层磁性材料层；以及至少一层力感测层，与磁性材料层可相对运动，该力感测层包括：第一感测元件，设置在磁性材料层的第一轴向，该第一感测元件可与磁性材料层相对运动，产生代表第一横向力的信号；及第二感测元件，设置在磁性材料层的第二轴向，该第二感测元件可与磁性材料层相对运动，产生代表第二横向力的信号。