| 摘要 |
<p>유지보수 특성을 훼손하지 않고 성막재료(29)의 이용 효율을 향상시킨 증발원(20)이 개시된다. 증발원(20)은 복수의 수용공간(25S)을 갖는 관상의 하나의 주벽(25)과, 주벽(25)의 내부를 복수의 수용공간(25S)으로 구획하는 복수의 격벽부(27)를 포함한다. 주벽(25)에는 수용공간(25S)마다 적어도 하나씩 배치된 복수의 구멍(28)이 형성되어 있다. 복수의 구멍(28)은 복수의 수용공간(25S) 각각에 수용된 성막재료(29)를 각 수용공간으로부터 외부를 향해 증발시키도록 복수의 수용공간과 외부 사이를 연통한다.</p> |
