摘要 |
<p>본 발명에 따른 양자점 태양전지의 제조방법은 (a) 기판에 절연층을 형성하는 단계, (b) 절연층 상부에 아몰퍼스 실리콘 및 나노 크리스탈이 혼합된 제 1 실리콘 막을 형성하는 단계, (c) 상기 제 1 실리콘 막에 형성된 나노 크리스탈의 크기를 조절하는 단계, (d) 상기 제 1 실리콘 막으로부터 상기 아몰퍼스 실리콘을 식각하는 단계 및 (e) 상기 아몰퍼스 실리콘이 식각된 기판에 남아 있는 나노 크리스탈의 표면에 절연막을 코팅하는 단계를 포함한다.</p> |