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发明名称
摘要
申请公布号 JP5106313(B2) 申请公布日期 2012.12.26
申请号 JP20080208753 申请日期 2008.08.13
申请人 发明人
分类号 H01L21/28;C01F7/00;H01J9/02;H01L29/26;H01L37/00;H01L51/50;H05B33/26 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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