激光照射装置及激光照射方法

摘要

本发明提供激光照射装置及激光照射方法，不会导致与被加工对象物内表面产生干涉的可能性增大，保持与被加工对象部之间的距离恒定的同时实施激光加工。本发明的激光照射装置具备：激光传输机构，将激光从激光光源导出并从激光射出部射出；聚光机构，将激光聚光；筒状的框体，将聚光机构收纳并保持在内部，具有用于将激光照射出的开口部；流体供给机构，将流体供给到框体内，并使该流体从开口部喷出；定位机构，配设于框体，通过与被加工物抵接，能够将聚光机构与被加工物之间的距离保持恒定；以及流体引导机构，进行引导，以使从开口喷出的流体在框体与被加工物之间沿着框体的轴向流动。

主权项

一种激光照射装置，其特征在于，具备：激光传输机构，将激光从激光光源导出并从激光射出部射出；聚光机构，对从所述激光射出部射出的激光进行聚光；筒状的框体，将所述聚光机构收纳并保持在内部，具有用于将由所述聚光机构聚光后的激光向被加工物照射的开口部；流体供给机构，将来自流体供给源的流体供给到所述框体内，并使该流体从所述开口部喷出；定位机构，配设于所述框体，通过该定位机构与所述被加工物抵接，将所述聚光机构与所述被加工物之间的距离保持恒定；以及流体引导机构，进行引导，以使从所述开口喷出的流体在所述框体与所述被加工物之间沿着所述框体的轴向进行流动。