多晶硅铸锭炉的三段式热场

摘要

本发明提供了多晶硅铸锭炉的三段式热场，能有效地减少硅锭生长过程中因四周保温部分与顶部保温部分之间的相对运动造成碳粉尘落入液态硅中，其包括炉腔，炉腔内安装有顶部保温层、四周保温层、底部保温板，顶部保温层、四周保温层、底部保温板闭合状态下形成保温腔，保温腔内部安装有顶部加热器、四周加热器、定向凝固块，顶部保温层安装有朝下出气的进气管，其特征在于：四周保温层包括上部保温层、下部保温层，上部保温层的外缘面紧固连接外部固定座，外部固定座紧固连接炉腔的内壁，下部保温层的外壁贴合上部保温层的内壁，下部保温层底部外缘面连接垂直布置的连接杆，连接杆连接垂直方向驱动的驱动结构。

主权项

多晶硅铸锭炉的三段式热场，其包括炉腔，所述炉腔内安装有顶部保温层、四周保温层、底部保温板，所述顶部保温层、四周保温层、底部保温板闭合状态下形成保温腔，所述保温腔内部安装有顶部加热器、四周加热器、定向凝固块，所述顶部保温层安装有朝下出气的进气管，其特征在于：所述四周保温层包括上部保温层、下部保温层，所述上部保温层的外缘面紧固连接外部固定座，所述外部固定座紧固连接所述炉腔的内壁，所述下部保温层的外壁贴合所述上部保温层的内壁，保温腔闭合时所述下部保温层的外壁与所述上部保温层的内壁的贴合位置位于所述保温腔的中下方部位，所述下部保温层底部外缘面连接垂直布置的连接杆，所述连接杆连接垂直方向驱动的驱动结构，所述驱动结构支承于所述炉腔的外壁，所述顶部保温层的外缘面紧密贴合所述上部保温层的顶部內缘。