发明名称 |
晶体管 |
摘要 |
本实用新型涉及一种晶体管。根据本实用新型的晶体管,包括:半导体衬底;形成在所述半导体衬底上的栅极电介质;形成在所述栅极电介质上的栅极;位于所述半导体衬底中、且分别在所述栅极两侧的源区和漏区,其中至少所述源区和漏区之一包含至少两个位错,其中源区包含第一数量的位错,漏区包含第二数量的位错,所述第一数量不同于第二数量。 |
申请公布号 |
CN202633240U |
申请公布日期 |
2012.12.26 |
申请号 |
CN201190000076.4 |
申请日期 |
2011.02.24 |
申请人 |
中国科学院微电子研究所 |
发明人 |
尹海洲;骆志炯;朱慧珑 |
分类号 |
H01L21/336(2006.01)I;H01L27/088(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/336(2006.01)I |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 72001 |
代理人 |
马丽娜;卢江 |
主权项 |
晶体管,包括:半导体衬底;形成在所述半导体衬底上的栅极电介质;形成在所述栅极电介质上的栅极;位于所述半导体衬底中、且分别在所述栅极两侧的源区和漏区,其中至少所述源区和漏区之一包含至少两个位错,其中源区包含第一数量的位错,漏区包含第二数量的位错,所述第一数量不同于第二数量。 |
地址 |
100029 北京市朝阳区北土城西路3号 |