发明名称 晶体管
摘要 本实用新型涉及一种晶体管。根据本实用新型的晶体管,包括:半导体衬底;形成在所述半导体衬底上的栅极电介质;形成在所述栅极电介质上的栅极;位于所述半导体衬底中、且分别在所述栅极两侧的源区和漏区,其中至少所述源区和漏区之一包含至少两个位错,其中源区包含第一数量的位错,漏区包含第二数量的位错,所述第一数量不同于第二数量。
申请公布号 CN202633240U 申请公布日期 2012.12.26
申请号 CN201190000076.4 申请日期 2011.02.24
申请人 中国科学院微电子研究所 发明人 尹海洲;骆志炯;朱慧珑
分类号 H01L21/336(2006.01)I;H01L27/088(2006.01)I 主分类号 H01L21/336(2006.01)I
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人 马丽娜;卢江
主权项 晶体管,包括:半导体衬底;形成在所述半导体衬底上的栅极电介质;形成在所述栅极电介质上的栅极;位于所述半导体衬底中、且分别在所述栅极两侧的源区和漏区,其中至少所述源区和漏区之一包含至少两个位错,其中源区包含第一数量的位错,漏区包含第二数量的位错,所述第一数量不同于第二数量。
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