一种适用于等离子体工艺设备的磁力耦合真空传动装置

摘要

本实用新型提供一种适用于等离子体工艺设备的磁力耦合真空传动装置，其包括设置在等离子体工艺设备的真空腔室外面的驱动装置、设置在所述真空腔室内的承载被传动的物体的承载装置和承兑的永磁体组对，该驱动装置的动力输出轴上连接传动装置，在所述传动装置上设置所述永磁体组对中的一组永磁体，在所述承载装置上的对应位置上设置另一组永磁体；成组对的永磁体隔着所述真空腔室的间壁对应设置。本真空传动装置具有结构简单，使用方便灵活的特点。

主权项

一种适用于等离子体工艺设备的磁力耦合真空传动装置，其特征在于：包括设置在等离子体工艺设备的真空腔室外面的驱动装置、设置在所述真空腔室内的承载被传动的物体的承载装置和成对永磁体组对，该驱动装置的动力输出轴上连接传动装置，在所述传动装置上设置所述永磁体组对中的一组永磁体，在所述承载装置上的对应位置上设置另一组永磁体；成组对的永磁体隔着所述真空腔室的间壁对应设置。