| 摘要 |
<p>실리콘 융액의 접촉시에 발생하는 열충격에 의한 슬립전위의 발생을 저감시키고, 또한, 이 슬립전위의 전달을 억제하여 목부의 직경이 종래보다 굵은 경우에도 무전위화가 가능한 실리콘 단결정 인상용 종결정을 제공한다. 본 발명의 실리콘 단결정 인상용 종결정은, 초크랄스키법에 의한 실리콘 단결정의 인상에 사용되는 종결정의 개량이며, 그 특징 있는 구성은 종결정이 탄소 도핑된 실리콘 융액에서 인상된 실리콘 단결정으로부터 잘라진 것으로서, 도핑된 탄소의 농도가 5× 10~ 5× 10atoms/㎤의 비율인 것에 있다.</p> |
