一种质谱仪质量分析器内缓冲气体快速高精度连续控制方法

摘要

本发明涉及质谱仪技术领域，特别涉及一种质谱仪质量分析器内缓冲气体快速高精度连续控制方法，包括真空腔、离子捕获模块、脉冲阀、脉冲阀驱动模块、FPGA/MCU/DSP/ARM控制器模块，具体包括通过计算机设定所述离子捕获模块所需真空度M，并通过所述FPGA/MCU/DSP/ARM控制器模块将信号传送至所述离子捕获模块；通过AD采样模块读取所述真空腔内真空度，并与真空度M比对；根据比对结果启动或不启动所述脉冲阀进行真空度调节。本发明的质谱仪质量分析器内缓冲气体快速高精度连续控制方法，具有功耗低、测量灵敏度高、速度快、稳定性和可控性高、结构简单、应用范围广等特点。

主权项

一种质谱仪质量分析器内缓冲气体快速高精度连续控制方法，其特征在于，包括真空腔、离子捕获模块、脉冲阀、脉冲阀驱动模块、FPGA/MCU/DSP/ARM控制器模块，具体包括以下控制步骤：(1)在工作电源供电下，通过计算机设定所述离子捕获模块所需真空度M，并通过所述FPGA/MCU/DSP/ARM控制器模块将信号传送至所述离子捕获模块；(2)通过所述FPGA/MCU/DSP/ARM控制器模块中的AD采样模块读取所述真空腔内真空度，对比判断与所述离子捕获模块所需真空度M大小；(3)若所述真空腔内真空度大于所述离子捕获模块设定的真空度M，则不启动所述脉冲阀；(4)若所述真空腔内真空度小于所述离子捕获模块所需真空度M，则通过所述FPGA/MCU/DSP/ARM控制器模块中的真空控制梯度算法编译输出的pulse‑in信号控制所述脉冲阀，并改变pulse‑in信号占空比来改变所述脉冲阀驱动模块输出pulse‑out信号，进而改变所述脉冲阀开关时间，最终所述脉冲阀连续控制缓冲气体进气量使所述真空腔内真空度达到所述离子捕获模块设定真空度M，时间＜3s。