发明名称 Sodium salt containing CIG targets, methods of making and methods of use thereof
摘要 A sputtering target includes at least one metal selected from copper, indium and gallium and a sodium containing compound.
申请公布号 US8338214(B2) 申请公布日期 2012.12.25
申请号 US201113073159 申请日期 2011.03.28
申请人 JULIANO DANIEL R.;TAS ROBERT;MACKIE NEIL;ZIANI ABDELOUAHAB;MIASOLE 发明人 JULIANO DANIEL R.;TAS ROBERT;MACKIE NEIL;ZIANI ABDELOUAHAB
分类号 H01L31/032 主分类号 H01L31/032
代理机构 代理人
主权项
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