| 摘要 |
열압착 본딩 방법은, 워크피스 홀더들을 포함하는 기판 캐리어를 마련하는 과정과, 다수의 제 1 워크피스들을 상기 워크피스 홀더들속에 위치시키는 과정을 포함한다. 다수의 제 2 워크피스들의 각각이 상기 다수의 제 1 워크피스들 중 하나 위에 위치하게 상기 다수의 제 2 워크피스들을 들여 올려 배열시킨다. 그 다음, 상기 다수의 제 1 및 제 2 워크피스들 사이의 솔더 범프들이 리플로되어 상기 다수의 제 1 및 제 2 워크피스들을 함께 동시에 본딩한다. |
