| 摘要 |
<p>처리율과 비용의 최적화를 도모할 수 있는 전자부품 시험장치를 제공한다. 전자부품 시험장치(1)는 복수의 테스트셀(20)을 각각 갖는 셀군(11A~11H)으로부터 구성되는 테스트셀 클러스터(10)와, 복수의 테스트셀(20)에 시험용 캐리어(60)를 공급하는 반송장치(30)를 구비하고 있고, 각 테스트셀(20)은 콘택터(215)와, 진공펌프(25)에 접속되고, 포켓(21)의 오목부(211)내를 감압함으로써 외부 단자(73)와 콘택터(215)를 접촉시키는 유로(221)와, 다이(90)에 조립된 전자회로의 테스트를 실행하는 테스트 회로(23)를 갖는다.</p> |
