发明名称 LEVITATION TRANSPORTATION DEVICE
摘要 <p>하면을 가지는 대상물을 여압(與壓)한 유체에 의해 부상시켜 제1단으로부터 제2단을 향해 반송하기 위한 부상 반송 장치가 개시되어 있다. 부상 반송 장치는, 상기 유체가 통과하는 챔버를 구획하는 베이스부와; 평면형의 상면과, 상기 상면에 인접하여 상기 상면의 중심을 향해 경사져 있는 경사면을 포함하는 측면을 가지고, 상기 챔버를 덮도록 배치된 섬부재와; 상기 섬부재를 에워싸고, 상기 섬부재의 상기 측면과 대향하는 내면과, 상기 상면과 단일의 평면 상에 정렬된 정상면(頂上面)과, 상기 제1단에 대향한 단에 배치되고, 상기 정상면보다 아래쪽으로 후퇴한 단차면 및 상기 대상물과 접촉 가능한 회전 가능한 롤러로 이루어지는 군으로부터 선택된 하나를 가지고, 상기 측면과 상기 내면이 상기 챔버와 연통되어 상기 유체를 분출하기 위한 분출공을 구획하는, 외곽 부재를 각각 구비하고, 상기 제1단으로부터 상기 제2단을 향해 간격을 두고 열을 이루어 배치된 부상 장치와; 상기 대상물을 반송하기 위한 반송 장치를 포함한다.</p>
申请公布号 KR101214888(B1) 申请公布日期 2012.12.24
申请号 KR20107000549 申请日期 2008.06.03
申请人 发明人
分类号 B65G49/06;B65G51/03;B65G54/00;H01L21/677 主分类号 B65G49/06
代理机构 代理人
主权项
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